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当动圈电机的电流输入为（例如，右力电机）时，与电流i成比例的输出推力fm将挡板推至喷嘴，减小可变节流阀的流通面积，增加空腔6中的气压p6，然后增加的p6通过喷嘴向挡板产生推力f。当f和fm处于平衡状态时，p6趋于稳定，其稳定值乘以喷嘴面积ay等于电磁力。另一方面，p6的增加使阀芯两侧的压差作用在阀芯的横截面上，使阀芯顶着反馈弹簧的力向左移动，增加了左反馈弹簧的压缩量，导致附加弹簧力fs，方向向右，尺寸与阀芯位移x成正比。当阀芯移动到一定位置时，弹簧的附加力和7、3腔的压差平衡作用在阀芯上的力，阀芯不动。脉冲宽度调制气动伺服控制是一种数字伺服控制。控制阀采用开关式气动电磁阀。图中所示为脉宽调制气动伺服系统。将输入的模拟信号经脉宽调制器调制成一定频率和幅度的脉冲信号，再经数字放大控制气动电磁阀。电磁阀的输出是一定压力和流量的气动脉冲信号，但它有足够的功率在气动执行机构的帮助下对负载工作。通过低通滤波器将脉冲信号转换为模拟信号来控制负载。低通过滤器可以是气动执行机构或负载本身。前者称为脉冲宽度调制线性化系统。后者基于较大的负载惯性。它不能对高频脉冲信号作出响应，只能对脉冲宽度调制信号的平均效应作出响应。

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pwm伺服阀的性能主要是动态响应和对称性。假设方波脉冲信号被施加到电磁铁上，从电磁铁接收到信号到执行器开始动作的时间称为信号的延迟时间。延迟时间由三部分组成：一是电流从零增加到电枢运动开始的时间；二是电枢和阀芯同时运动的时间；三是固定容器从节流孔打开和执行器工作腔排气到电枢运动开始的充放电时间执行器。前两部分时间由pwm伺服阀决定。pwm气动伺服系统的工作频率一般为10hz～20hz。为了满足快速动态响应的特点，延迟时间越短越好。一般控制在1~2ms。对于所谓的对称性要求，四通滑阀的响应和阀芯的往复运动应是相同的，即在传输过程中两个电磁铁所加脉冲信号的延迟时间应基本相同，两个出口处的压力和流量应基本相同相同；对于三通球阀，脉冲信号的上升沿和下降沿的延迟时间基本相同，球阀的充气过程和排气过程应相互依赖，这是相同的。由于三通球阀与差动缸的匹配，其对称性不如四通滑阀。

为了提高滑阀的快速响应，常采用力反馈来提高滑阀的反向运动速度。这个图是弹簧反馈的形式。当信号反向时，弹簧力帮助阀芯反向移动。当阀芯移动到中间位置以上时，弹簧力发生变化，可以防止阀芯移动，减小阀芯到位的冲击力，降低噪音。采用气压反馈的形式，工作原理相同。与模拟控制相比，pwm控制具有许多优点：控制阀在高频开关状态下工作时能消除死区、干摩擦等非线性因素；控制阀的加工精度不高，降低了控制系统的成本；调节阀的节流阀常处于全开状态，抗污染能力强，运行可靠。缺点是输出功率小，机械振动大，噪声大。

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